半導體潔凈車間防塵用加濕機

半導體潔凈車間防塵用加濕機：半導體是指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，我們最為常見的半導體就是硅，普通的沙子的主要成分就是二氧化硅，經過提煉后就是硅了。半導體的作用很大，我們使用的電視還有電腦手機就有大量的半導體存在，可以說，如果沒有半導體那么電子行業就不會有現在這么發達。

半導體生產必須在潔凈車間下進行，因為半導體的組件空間單位都是以微米計算的，一旦生產環境中出現灰塵顆粒粘附在半導體的晶圓上就會影響到精密導線的布局，造成短路或者是斷路的嚴重后果。所以半導體的潔凈車間必須要做好控制灰塵顆粒的工作。

那么該如何保證半導體的生產車間不會有灰塵顆粒呢？必須要做到以下幾點：

1、不能攜帶進入；對于潔凈車間來說，灰塵的主要來源就是人跟材料，所以所有的人在進入潔凈車間就必須穿配套的防塵服，而且跟材料一樣需要經過風淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

2、在清洗半導體晶圓的時候必須使用去離子水，這是為了防止水中粉粒污染晶圓，另外是為了防止水中鈉鎂鈣離子污染金氧半晶體管結構之帶電載子信道，確保半導體組件的工作特性。而且在干燥半導體晶圓的時候使用高純度的氮氣。

3、在設計潔凈車間的時候就要考慮到靜電會吸附灰塵，所以建筑材料要使用不易產生靜電吸附的材質，而且材料要耐磨損，這樣在工作人員在走動的時候或者是搬運材料的時候就不會有顆粒出現。

4、氣壓要比室外的要高，這樣可以保證將潔凈室內的灰塵顆粒順利排放出去。所以大型的鼓風機是不可缺少的，這樣可以快速排放室內空氣，達到排放顆粒灰塵的目的。

5、配置加濕機來降塵。加濕機在潔凈室中的作用不止是降塵，還可以起到防范靜電的作用。靜電對半導體的影響也很大，不管是放電還是吸附灰塵到半導體組件的表面，都會影響到產品質量，所以這個非常重要。加濕機有很多類型，濕膜的跟超聲波的，這兩種加濕方法各有優點，潔凈室可以根據自己的需要配置。